【NEWS】第五届国际先进光刻技术研讨会在广东佛山开幕

12月12日，第五届国际先进光刻技术研讨会（IWAPS）在广东佛山开幕，本届大会由中国集成电路创新联盟、中国光学学会、中国电子学会、中国集成电路材料创新联盟主办，中国科学院微电子研究所、季华实验室、广东省大湾区集成电路与系统应用研究院、佛山科学技术学院承办，佛山高新技术产业开发区管理委员会、中国科学院大学微电子学院、南京诚芯集成电路技术研究院协办，IEEE电气和电子工程师协会提供技术支持。本届大会得到全芯智造、Siemens EDA、EDWARDS、徐州博康、东方晶源、FUJIFILM、GIGAPHOTON、厦门恒坤、HITACHI、上海华力、JSR、北京科华、沈阳芯源、KLA、南大光电、PIBOND、上海微电子装备、ZEISS、CYMER等国内外企业赞助支持，来自中国、美国、德国、日本、荷兰等世界各地众多名企、厂商、科研机构、高校的技术专家和学者参加会议。

会议开始，大会主席、中国集成电路创新联盟理事长、十三届全国政协教科卫体委员会副主任、季华实验室理事长兼主任曹健林研究员，大会主席、中国集成电路创新联盟副理事长兼秘书长、中国半导体行业协会副理事长、中国半导体行业协会集成电路分会理事长叶甜春研究员，广东省工业和信息化厅总工程师董业民，广东省科学技术厅高新技术处一级调研员云丹平，中国光学学会秘书长、COS、OSA、SPIE会士、浙江大学现代光学仪器国家重点实验室主任刘旭教授，SPIE会士、ASML公司应用经理Will Conley，SPIE会士、AS Lithography Consulting公司CEOAkiyoshi Suzuki分别致辞。SPIE会士、中国科学院微电子研究所计算光刻研发中心主任韦亚一研究员主持开幕式。按照大会日程安排，在两天的时间里，来自Nvidia、ASML、Siemens EDA、Canon、KLA、Nikon、上海华力、长鑫存储、ZEISS、Edwards、沈阳芯源、DNP、HITACHI、JSR、FUJIFILM、Nova、复旦大学、全芯智造、DJEL、Gigaphoton、暨南大学、同济大学、湖南大学、青岛天仁、HFC等公司机构和高校的特邀嘉宾分别就拟定的主题作特邀报告，深入分析光刻领域先进节点最新的技术手段和解决方案，包含先进节点的计算光刻技术、SMO、DTCO、EUV、工艺、量测、Deep Learning、光刻设备、材料等，内容丰富。

本届大会由于疫情原因，参会名额有限，因此开通了线上互动环节。除现场参会者外，还有许多国内外演讲嘉宾和组委会成员在线上参会，进行线上报告并与现场参会者进行实时互动交流。会议现场也严格执行佛山市疫情期间会议管控要求，实行核酸检测查验、体温监测、发放防疫用品以及会场间隔就坐等措施。疫情并没有削弱业内对IWAPS的热情，参会者对会议报告反响强烈。

近年来，中国集成电路产业蓬勃发展，基于这样的形势，国际先进光刻技术研讨会（IWAPS）应运而生。IWAPS作为国内专注于高端光刻技术的研讨会，为来自国内外半导体工业界、学术界的资深技术专家和优秀研究人员等提供了一个良好的技术交流平台，参会者可以就材料、设备、工艺、测量、计算光刻和设计优化等主题分享各自最新的研究成果，研讨即将面临的技术挑战，探讨图形化解决方案。IWAPS报告内容涉及广泛，涵盖了当前的技术现状、未来的发展趋势以及面临的挑战等，报告发言者均特邀来自先进光刻及相关技术领域的国内外资深专家，代表了其所在领域的国际先进水平。

IWAPS已连续成功举办四届，今年在广东佛山举办第五届。佛山所在的广东省是我国信息产业第一大省，2020年全省电子信息产业营业收入约5万亿元，连续30年居全国第一，在消费电子、通信、人工智能、汽车电子等领域拥有国内最大的半导体及集成电路应用市场，芯片消耗量相当惊人，集成电路进口金额占全国的40%左右，达1400亿美元，基本形成以广州、深圳、珠海为核心，带动佛山、东莞、中山、惠州等地协同发展的产业格局。2019年中共中央、国务院印发《粤港澳大湾区发展规划纲要》。按照规划纲要，粤港澳大湾区要建成充满活力的世界级城市群、国际科技创新中心、“一带一路”建设的重要支撑、内地与港澳深度合作示范区，成为高质量发展的典范。

本届大会为集成电路产业主管部门、顶尖专家、龙头企业和行业组织等搭建了一个交流合作、协同创新的高端平台，共同分享前沿技术趋势，加强产业链深度合作，助力集成电路产业高质量发展。将为佛山市乃至大湾区的集成电路产业发展提供更为广阔的发展思路，推动产业实现优化提升。