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【NEWS】“设备相关”专题—第七届国际先进光刻技术研讨会 (IWAPS 2023)

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发表时间:2023-09-21 20:23
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第七届国际先进光刻技术研讨会

(IWAPS 2023)


“设备相关”专题

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    近年来,集成电路产业已经成为世界各国越来越重视的战略性产业,尤其在中国,集成电路产业受到了前所未有的关注,并在政策和资本的推动下获得了蓬勃发展。基于这样的形势,国际先进光刻技术研讨会(International Workshop on Advanced Patterning Solutions, IWAPS)应运而生。IWAPS为来自国内外半导体工业界、学术界的资深技术专家和优秀研究人员等提供了一个技术交流平台,参会者可以就材料、设备、工艺、测量、计算光刻和设计优化等主题分享各自的研究成果,探讨图形化解决方案,研讨即将面临的技术挑战。

    自2017年以来,IWAPS已经在全国各地成功举办六届。会议投稿、会议报告与参会人数逐年增加,行业反响热烈,业已成为国内高端光刻技术领域的重要会议。此外,IWAPS自2020年起已被IEEE收录,接收论文将被送检IEEE Xplore与EI。欢迎大家踊跃报名!


第七届IWAPS将于2023年10月25-26日于浙江丽水举行

请于2023年10月24日报到


欢迎各位学术和产业届的朋友莅临指导,参会


参会名额有限,有意者请及时报名参会


官网报名链接:

https://www.iwaps.org/cn/index/10

扫码报名:

手机扫描二维码,通过邀请函报名

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-设备相关-

No.01

19 Years of AMEC Etch Product Innovation


AMEC刻蚀产品的19年创新之路

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经过19年的持续创新和努力,中微半导体设备有限公司(AMEC)已经成为中国领先的高端半导体设备公司。公司开发了多款CCP(电容耦合等离子体)和ICP(电感耦合等离子体)刻蚀机,涵盖了大多数刻蚀应用领域。AMEC提供单站和双站工艺腔室,以追求卓越的工艺性能并显著降低成本。AMEC的创新持续推动深度摩尔(More Moore)和超越摩尔(More than Moore)的技术应用。

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作者简介


丛海先生是AMEC刻蚀产品事业部总经理。他2001年毕业于新加坡国立大学,获得硕士学位。他于2021年加入AMEC。在担任现职之前,他曾在新加坡特许半导体、台积电wafertech公司和格罗方德半导体股份有限公司等公司从事研发和制造工作。他拥有50多项专利和10余篇技术论文,涵盖工艺集成、工艺和硬件设计等领域。



No.02

Lithographic Stepping Trajectory Planning for Residual Vibration Suppression: An Asymmetric S-Curve Method


用于抑制残余振动的光刻步进轨迹规划:一种非对称S曲线方法

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在光刻工艺中,使用步进运动使光刻过程从一个曝光场迅速切换到另一个曝光场。为了满足当今高端光刻装备的产率要求,步进运动后的调整时间需要被限制在几毫秒范围内,这对运动控制系统的残余振动抑制能力提出了很高要求。通过零极点配置理论设计的对称S曲线具有消除由机械谐振引起的残余振动的能力,然而实际谐振频率偏离其名义值将导致显著的性能下降。为此,本文进一步提出了一种非对称S曲线规划方法,以增强对谐振频率偏移的鲁棒性。

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作者简介


李理博士,哈尔滨工业大学副教授/博士生导师。2013年毕业于哈尔滨工程大学,获学士学位;2015年和2020年毕业于哈尔滨工业大学,分别获得硕士和博士学位。博士毕业后入职哈尔滨工业大学仪器科学与工程学院,担任助理教授,并于2022年晋升为副教授。在超精密仪器技术及智能化工信部重点实验室从事研究工作,研究方向为超精密光刻机工件台控制技术。在该领域,以第一作者和通讯作者发表SCI检索论文7篇,全部为JCR Q1区,以通讯作者在国内“光刻技术”专题发表特邀综述1篇,授权中国发明专利10余项。担任《Instrumentation》青年编委,入选中国科协青年人才托举工程、哈工大青年拔尖人才选聘计划和黑龙江省高层次人次D类,荣获中国仪器仪表学会金国藩青年学子奖和中国仪器仪表学会技术发明一等奖。



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此外,还有来自多家集成电路制造企业、高校研究院所的多位演讲者莅临演讲或海报展示,敬请期待,欢迎参会交流。


-往年论文集-

IWAPS 2020:

https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9286788/proceeding

IWAPS 2021:https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9670881/proceeding

IWAPS 2022:

https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9971792/proceeding



IWAPS 2023 会议筹备工作已经展开

更多信息,敬请关注会议官网

www.iwaps.org/cn

(请复制链接后在浏览器中打开)

以及“光刻人的世界”微信公众号

我们会随时更新


官网报名链接:

https://www.iwaps.org/cn/index/10

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丽水特色半导体

“万亩千亿”新产业平台

2023年2月,省委书记易炼红同志深入丽水经开区调研指导工作时指出:“丽水经开区半导体产业园的发展充分证明,只要铆足‘从无到有’的开拓进取精神,革命老区也能集聚和打造世界一流企业。”这是对丽水市抢抓国家集成电路发展窗口机遇所取得的初步成绩给予的最大肯定。

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近两年,浙南盆地丽水市忽然声名鹊起,昔日人们习惯认知中的资源匮乏、交通闭塞、不显山不显水的“边陲小城”丽水,竟然与数字经济的宠儿——芯片产业成功牵手。一大批在集成电路领域颇有影响力的龙头企业和单打冠军企业纷至沓来,一项项具有国内外先进水平的特色半导体制造项目落地浙江“绿谷”,一幢幢现代化厂房鳞次栉比,一批批高精尖的半导体产品从这里生产线流出并运往全国各地。“忽如一夜春风来,千树万树梨花开”,倏忽间,在丽水经开区逐步形成了从设计、制造、封测到原材料乃至设备的全链产业集群,特色半导体产业平台获批省第四批“万亩千亿”新产业培育平台,成为全省 “芯产业新地标”,为浙江省建设集成电路强省提供了丽水贡献,在全国集成电路产业高质量发展的进程中深深地烙下了 “绿谷印记”。


近年来,丽水市认真践行“八八战略”,始终牢记习近平总书记“加快先进制造业基地建设,走新型工业化道路”重要嘱托,坚持“发展阶段不可逾越、发展阶梯可以跨越”理念,抢抓国家集成电路产业发展窗口机遇期,“无中生有”培育形成特色半导体产业集群。经过四年努力,累计落地项目29个,总投资额近600亿元,初步形成“一园一链两基地”发展格局。半导体全链条产业纳入全省集成电路产业规划,特色半导体产业平台获批省第四批“万亩千亿”新产业培育平台。

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丽水经开区微信公众号:

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