【光刻】传输图像传感器 Transmission Image Sensor, (TIS)

　　传输图像传感器是一种测量空间像（Aerial Image, AI）的设备[1]。掩模工作台与晶圆工作台之间的对准是依靠所谓的TIS（transmission image sensor）系统来实现的。TIS系统包括三个部分，如图1所示[2]。一是设置在掩模工作台上的TIS标识（TIS mark），它们是一系列透光的密集线条；二是光刻机的光学成像系统；三是晶圆工作台上的TIS传感器。在光源的照射下，TIS标识通过光学成像透镜系统，投射在晶圆工作台表面。安置在晶圆工作台上的TIS传感器随工作台的移动可以测量出TIS标识像强度的空间（X，Y，Z）分布。根据测得的TIS像分布，可以计算出掩模工作台上TIS标识相对于晶圆工作台的位置（ᐃX，ᐃY，ᐃZ）。

图1 TIS对准系统示意图

　　TIS标识中的设置有沿X和Y方向的一系列等间距线条。通过测量这些线条在晶圆工作台上所成像的位置和间距，TIS系统不仅能精确确定掩模版相对于晶圆工作台的位置，而且可以进一步确定投影透镜系统的像差和成像系统的畸变[2]。

参考文献：

[1]Fan Wang，通过传输图像传感器测量相移掩模的相差，SPIE文章，2005，Vol. 5645

[2]韦亚一，超大规模集成电路先进光刻理论与应用，科学出版社，2016，122-123