【光刻】颈缩 Pinching/Necking

　　颈缩是指局部图形尺寸较目标图形尺寸缩减的缺陷。

　 　图形拆分可以被认为是有条件的间距问题，基于设计规则(DRC)定义一系列拆分规则，依据拆分规则完成图形分解[35]。拆分规则会对版图上的多边形尺寸、间距提出要求，如图 10.51 所示，包括最小允许周期(minPitch)、最小允许线间距(minSpace)、最小允许拐角至拐角距离(min corner-to-corner， minC2C)等[1]。

图1 图形拆分规则的一些例子

　 　实际上，结构复杂的版图，多边形相邻约束要求较多，必须对多边形引入切割才能完成拆分规则要求[36]。当相邻多边形违背拆分规则的间距(冲突)形成奇数周期时，就必须引入切割才能解决冲突，如图 10.52 所示。将原本连续的多边形分成两部分，分割处称为缝合点(stitch)。在多边形切割处，对切割后形成的位于两张掩模上的线端都需要进行线端缩进补偿。切割处对套刻误差以及工艺窗口变量格外敏感，并且还会由于线端缩进补偿过量导致新的违规冲突出现，因此需要严格选择切割位置以及控制切割补偿量，图2中的深色即为线端补偿。如果线端补偿过少则会导致线条颈缩缺陷(pinching)，如图3所示[1]。

图2 对图形做切割以消除奇数周期

图3 线端补偿不够导致颈缩(pitching)

参考文献：

[1]韦亚一，超大规模集成电路先进光刻理论与应用，科学出版社，2016，481-482